LCD/半导体行业废气处理

2020-05-23

半导体制造业是集合物理、电子、电机、光学、化学、材料及管理科学的高科技工业。电子行业主要是元器件组装焊接过程中对大气的污染和电路板等器件清洗等表面处理过程中因使用一些化学药剂(如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物)挥发造成对大气环境的污染,以及整机装配过程中产生的机械噪声和少量粉尘也会造成环境污染,这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒。由于半导体元件制程中,使用多种酸碱溶液、有机溶剂及特殊的有毒气体,其产生的废气及有毒物质污染强度大,若做不好污染防治工作,将造成严重的环境污染。目前最先进的处理方法有:蓄热式氧化法(RTO)、浓缩转轮+RTO、热力燃烧法(TO)、催化燃烧法、吸附法、吸收法。

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